Milli-Q?半導(dǎo)體行業(yè)電子級水解決方案
專為微量元素分析量身定做的超純水Milli-Q? IQ Element |
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半導(dǎo)體制程工藝涉及到不同的步驟，包括光刻、刻蝕、離子注入、清洗等等，而各個不同的制程工藝中，支撐材料如電子化學(xué)品、光刻膠等的性能也對于集成電路的制造起到了關(guān)鍵的作用。
隨著半導(dǎo)體芯片性能不斷提高，加工難度加大，對半導(dǎo)體原料、生產(chǎn)輔助材料、電子化學(xué)品、電子氣體、研磨材料、光刻膠、蝕刻液等材料的性能要求提高，電子級水被廣泛應(yīng)用于相關(guān)材料的生產(chǎn)、質(zhì)量分析等環(huán)節(jié)，其純度及穩(wěn)定性直接影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。
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| Milli-Q? |
| Milli-Q?, 德國默克集團(tuán)生命科學(xué)事業(yè)部實驗室純水產(chǎn)品線品牌，全球?qū)嶒炇壹兯统兯鉀Q方案的領(lǐng)導(dǎo)者，客戶廣泛分布在制藥、高校、科研、政府、第三方檢測、醫(yī)療、診斷、生物技術(shù)、食品飲料、能源等各個行業(yè)。Milli-Q?實驗室純水解決方案，全面滿足客戶在水質(zhì)、應(yīng)用、體積、流量和人性化操作方面的各種需求，以及在水質(zhì)參數(shù)監(jiān)測和追溯方面的需求。 |
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Milli-Q? IQ Element裝置與Milli-Q? IQ 7系列純水系統(tǒng)相結(jié)合，可提供電子級水，適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的材料沖洗、痕量和超痕量元素分析 ，包括ICP-MS、GF-AAS和痕量 IC。
使用來自Milli-Q? IQ 7000或Milli-Q? IQ 7003/05/10/15系統(tǒng)的新制備超純水，Milli-Q? IQ Element裝置進(jìn)一步對水進(jìn)行純化。在使用點取用的水被證實含有極低水平的元素污染物，從單個ppt到亞ppt檢測水平*。專門從事超痕量元素 分析的獨立實驗室已經(jīng)驗證了本裝置的水質(zhì)。
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| 設(shè)計適合您的痕量分析工作流程 |
易于集成
結(jié)構(gòu)緊湊的裝置設(shè)計適合無縫、無污染地安裝于潔凈室環(huán)境或?qū)恿髡种小?br>
易于使用
觸摸屏讓您能夠持續(xù)查看基本質(zhì)量參數(shù)，只需點擊幾下，即可打印取水報告或設(shè)置所需的取水量。
易于避免污染
在工作時無需觸摸本裝置；只需用腳踏開關(guān)即可在使用點取水，完全解放您的雙手。
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易于維護(hù)
所有純化濾芯的設(shè)計都方便更換。用戶不需工程師現(xiàn)場服務(wù)幫助即可自行更換。
易于數(shù)據(jù)管理
永遠(yuǎn)都不會丟失對水質(zhì)的跟蹤。直觀的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)讓您只需點擊幾下即可監(jiān)控、存儲和快速檢索水質(zhì)數(shù)據(jù)——從單次取水到完整的歷史記錄。
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為了評估Milli-Q? IQ 7 系列純水系統(tǒng)與Milli-Q? IQ Element 裝置組合的性能，在兩個獨立的實驗室中進(jìn)行了電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）分析（表1 和2）。在這兩個實驗室中，Milli-Q? IQ Element 裝置連接到潔凈室中的Milli-Q?IQ 7005 系統(tǒng)，以最大限度地減少實驗室環(huán)境造成的污染。在丟棄至少10 L 水之后收集超純水，并且用待測試的水沖洗取樣瓶數(shù)次。結(jié)果表明，這種水僅含有極低含量的被測元素，并且滿足現(xiàn)代 ICP-MS 儀器的最嚴(yán)格純度要求。
表1. 使用連接到Milli-Q? IQ 7005純水化系統(tǒng)的Milli-Q? IQ Element所產(chǎn)生的高純度水進(jìn)行的 ICP-MS分析。
數(shù)據(jù)由日本東京安捷倫科技公司（Agilent Technologies）提供。? 版權(quán)歸安捷倫科技有限公司（Agilent Technologies, Inc.）所有。
經(jīng)安捷倫科技有限公司（Agilent Technologies, Inc.）許可轉(zhuǎn)載
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表2. 使用連接到Milli-Q? IQ 7005純水系統(tǒng)的Milli-Q? IQ Element所產(chǎn)生的高純度水進(jìn)行的 ICP-MS分析。數(shù)據(jù)由法國波城UT2A提供。
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| 歡迎關(guān)注Milli-Q?半導(dǎo)體行業(yè)電子級水解決方案，如需了解更多，請?zhí)顚懭缦滦畔@取電子版詳細(xì)資料；如果您有任何電子級水問題，也請您留下您的信息，我們專業(yè)的應(yīng)用專家會與您聯(lián)系。
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